填补国内空白：我国建成首套高精度圆度基准装置，圆度测量不确定度从 20nm 降至 6nm

中国计量科学研究院近期宣布，我国首套高精度圆度基准装置已成功研制并投入使用。

此项成就标志着中国在精密圆度测量领域取得了重大进展，整体技术实力已达到国际领先水平。

圆度作为几何量形位公差体系中的关键参数，其测量精度对精密主轴、先进光学元件以及半导体芯片等高端制造产品的性能和装配质量至关重要。

过去，尽管中国已建立了平面度等几何量计量基准，但圆度量值一直缺乏国家级的溯源途径，这已成为制约高端装备自主研发和产业高质量发展的一个瓶颈。

此次新装置的建成，填补了国内在圆度基准方面的空白。它将为航空航天、高端机床、先进光学和半导体制造等关键产业提供稳定可靠、高精度的量值溯源支持。这不仅完善了国家的几何量计量体系，也为建设制造强国和质量强国奠定了坚实的技术基础。

在技术方面，该装置整合了多项自主研发的创新技术，有效解决了高精度圆度评定、主轴误差分离以及滤波一致性控制等国际性的技术难题。

该装置引入了基于高精度圆度滤波和全面数据利用的圆度计算模型，成功克服了在标准半球分离后进行轮廓重构时遇到的稳定性挑战。同时，自主研发的新型误差分离技术显著降低了主轴回转误差的影响，将圆度测量的误差不确定度从之前的 20 纳米降低至 6 纳米，测量能力已达到国际先进水平。这项突破意味着中国在高精度圆度测量相关的核心关键技术上实现了自主可控，打破了长期以来被国外技术垄断的局面。